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平成16年度(2004.4.1 - 2005.3.31)

助教授　安岡康一

技術職員　新里卓史

Ｄ１　山竹厚
Ｍ２　大坪正史　[大気開放型プラズマによるマイクロラジカル源の研究]
Ｍ２　久保田智史　[サブミクロン構造をもつ誘電体膜を用いたバリア放電に関する研究]
Ｍ２　本間友祐　[Zピンチ型EUV光源の高出力低デブリ化に関する研究]
Ｍ１　中込直樹
Ｍ１　山口隆士
Ｂ４　片山弘士　[マイクロプラズマによる大気圧ラジカル生成と制御]
Ｂ４　竹内希　[プラズマ圧縮過程を用いたイオン注入に関する研究]
YSEP　Fletcher, Jeremy Keane

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